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钽靶 (Ta)
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钽靶被广泛应用于半导体、光学、磁性存储介质以及耐磨、耐腐化器件等领域的镀膜。
元素符号
:
Ta
纯度
:
3N5+
形状
:
平面靶；旋转靶
外观
:
深灰色金属
典范密度
:
16.54g/
cm?
通例尺寸
:
平面靶
: 500x500x30mm
旋转靶
: L4000mm
其它尺寸可定制
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硅靶 (Si)
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