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铝靶 (Al)
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铝靶广泛应用于半导体、TFT-LCD、装饰等领域镀膜。
元素符号
:
Al
纯度
:
4N+
形状
:
平面靶
;
旋转靶
外观
:
银色金属
典范密度
:
2.67g/cm?
通例尺寸
:
平面靶
: D500mm
旋转靶
: L4000mm
其它尺寸可
定制
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